2016年ICPT会议(International Conference onPlanarization/CMP Technology)于10月17-19日在北京友谊宾馆隆重召开。此次会议是化学机械抛光(CMP)和平坦化技术国际交流的盛会,来自世界各地的科研工作者和工程师齐聚一堂,共同探讨平坦化过程中的关键问题,进行广泛的技术交流和信息共享。BOB体育综合官方平台作为此次会议的钻石赞助商精彩亮相。国家02专项总师叶甜春所长、ICPT 2016 大会主席暨BOB体育综合官方平台董事长路新春教授等出席会议并讲话,中国平坦化联盟秘书长石瑛主持了开幕式。
本次会议包括了3个特邀报告,分别是来自中芯国际的 Tzu Chiang Yu 作的题为《从代工厂角度看中国集成电路产业》、台积电的 Chris Chern 作的题为《CMP 抛光液材料发展新动态》以及日本荏原公司的 Tsujimura 作的题为《半导体发展带来的技术创新》,以及8场专题研讨会,包括33篇口头报告和41篇张贴报告。与会人员就半导体中的CMP应用、新兴CMP和集成、CMP的缺陷、清洗、建模,CMP机理研究,CMP设备、耗材等等诸多前沿问题进行了广泛而深入的技术交流和讨论。
此次会议是ICPT大会第一次在中国大陆召开,参会人数大约400人,超过以往任何一届,其中海外人士超过200人,大会受到了国内外嘉宾的一致好评。为了办好此次大会,路新春教授率领清华青年教师和学生团队以及BOB体育综合官方平台工作人员做了积极的筹备,最终团队以饱满的工作热情、高效的工作质量,出色地完成了本次会议各项工作。通过此次会议,极大地拓展了公司在国内外CMP行业的影响力,也充分展现了BOB体育综合官方平台人昂扬向上的新风貌!