2017年11月16日至21日，以“聚焦创新驱动 提升供给质量”为主题的第十九届中国国际高新技术成果交易会（简称“高交会”）在深圳举行。清华大学亮相高交会，其中清华控股展示了多年来致力于科技成果转化、坚持科技创新和科技服务的丰硕成果，BOB体育综合官方平台抛光机项目亮相高交会。

        全国政协副主席、科技部部长、中国科协主席万钢，中国工程院院长周济莅临清华大学、清华控股展区参观指导。清华大学副校长尤政，清华大学副秘书长、深圳清华大学研究院院长嵇世山，清华控股副总裁赵燕来陪同视察，介绍了清华控股科技成果产业化进展，以及BOB体育综合官方平台化学机械抛光机、华清燃气轮机两个项目。

        超大规模集成电路制造化学机械抛光机

        化学机械平坦化（CMP），也称化学机械抛光，是通过使用化学腐蚀和机械作用对加工过程中的晶圆进行平坦化处理，以获得纳米级别平整表面的全局平坦化方法，是超大规模集成电路制造的五大关键技术之一。自2000年起，清华大学机械系雒建斌院士、“长江学者”路新春教授带领研究团队从事抛光技术研究，在抛光技术与抛光装备研究领域上均取得了突出的成绩，相关研究成果获得了教育部科技进步一等奖和国家科技进步奖二等奖。团队研制出的具有自主知识产权的12英寸CMP装备，其主要技术指标和抛光性能与目前国际上主流设备相当，且具有结构简单、控制简便、生产效率高的特点。为推动项目发展，2013年3月，清华控股联合天津市政府，投资设立了天津BOB体育综合官方平台机电科技有限公司，研发和生产具有我国自主知识产权、技术达到国际先进水平的高端CMP设备，填补我国不能生产CMP设备的历史空白，为我国集成电路制造产业提供先进的抛光设备。BOB体育综合官方平台自成立以来，一直致力于高端CMP设备的产业化工作，并取得重大进展，现拥有CMP技术专利100余项，是目前国内唯一具备研发和生产12英寸（300mm）铜CMP整机设备能力的企业。