在清华大学路新春教授带领下，专家组一行先后来到万级调试车间和千级洁净间，参观了正在整机调试的Universal-300型化学机械抛光机、正在出机前测试的Universal-300 plus型化学机械抛光机、Universal -150小型抛光机，以及其他自研仪器设备。

 

 

 

        路新春教授向专家组详细介绍了设备的原理、工作流程，面临的技术挑战以及工艺水平与研发销售现状。专家们在看到整套设备高效稳定自动化运转情况后，得知Universal-300 plus将在几天后发往中芯国际进行图形晶圆的抛光生产，专家组对BOB体育综合官方平台所取得的成绩给予赞许，并针对设备技术问题进行交流。随后，专家组还观摩了由清华大学、大连理工大学和国防科技大学承担集成项目所加工的亚纳米表面精度的样品。

 

 

 

        在座谈交流会上，路新春教授向专家组进行了集成项目年度总结汇报，详细介绍了清华大学及合作单位在超精密表面制造基础研究方面取得的研究进展以及所取得的阶段性成果。
        汇报结束后，专家组对基础研究成果对产业化发展的支撑作用进行了深入地讨论，并对今后基础研究的发展提出了指导意见。