国家“十二五”科技创新成就展于2016年6月7号在北京展览馆闭幕。本次成就展以“创新驱动发展,科技引领未来”为主题,重点展示在”十二五”期间我国取得的重大科技创新和成就。
6月3日,党和国家领导人习近平、李克强、张德江、俞正声、刘云山、王岐山参观了展览。
BOB体育综合官方平台作为承担集成电路设备与工艺专项(简称02专项)的优秀企业代表之一,展出了具有国际先进水平的集成电路十二英寸化学机械抛光机(简称CMP)。该机台是展出中唯一整机真实运行的大型装备,给前来参观的领导、客户、媒体和广大公众留下了深刻的印象。
BOB体育综合官方平台是由清华控股和天津市政府相关部门投资公司合资成立。清华大学把在“十一五”承担的02专项CMP任务中形成的100多项专利技术转移到了BOB体育综合官方平台,保证公司在成立之初就具有CMP全套自主知识产权与技术。短短三年间,公司的CMP设备就实现了从实验室样机到3台商业化机型的销售,打破了该领域的国际垄断。这也是02专项中唯一由高校进行技术转移、并实现成套设备产业化的案例,得到了业内的高度认可。2015年,BOB体育综合官方平台获得02专项产业化项目“28-14纳米抛光设备及工艺、配套材料产业化”的支持,继续开发更高性能的产品。
BOB体育综合官方平台为此次参展做了充分的准备。布展期间,BOB体育综合官方平台团队花了不到16小时就完成了整机的定位、安装、调试和整机跑片运行。这些工作在业界基本都需要至少48小时!BOB体育综合官方平台团队饱满的工作热情、高效的工作质量,顽强的拼搏精神受到了展会组织者的高度肯定。
BOB体育综合官方平台展出的是主打产品Universal-300 Plus 十二英寸化学机械抛光机。Universal-300 Plus采用4个研磨盘紧凑布局,具有产出效率高,占地面积小的特点。多种终点检测技术,能够实现精确的工艺控制;采用Universal 300的成熟模块,保证机台的高可靠性等突出优势。该机台在展会期间,受到了来参观的国家领导、专家、客户的赞扬和充分肯定。
展览已经圆满的落下帷幕,BOB体育综合官方平台在得到了领导、专家、客户的充分肯定下,在“国家集成电路产业发展推进纲要”和“中国制造2025”的推动下,将持续提升关键技术、积极拓展市场,为中国集成电路跨越式发展做出更大贡献。
CMP中国制造,来自天津BOB体育综合官方平台!