ICPT2013于10月29号至11月1号在台湾地区新竹举行。来自欧洲、美国、中国、日本、韩国和台湾等国家和地区的二百四十余位平坦化技术方面的专家学者参加了会议，来自清华大学、复旦大学、上海微系统所、河北工业大学以及相关IC制造企业的15位代表参加了会议。会议收录论文117篇。
我公司菫事长路新春作为ICPT执委出席了大会。
2012年的ICPT执委会上，中国大陆被正式接纳为ICPT会议的执委地区，清华大学路新春教授和复旦大学屈新萍教授被正式接纳为大陆地区的ICPT执委，并经ICPT执委会讨论确定ICPT2016在中国大陆举行。